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溶剂回收系统

半导体液晶面板行业有机溶剂回收; 安装于真空泵出口,包括冷凝桶、ADS、除水过滤器等设备; 全不锈钢材质,耐腐蚀性强,使用寿命长; 根据不同工艺,制定不同溶剂回收方案; KF快速连接法兰,安装方便; ADS全自动控制,自动将回收后溶剂汇集至回收槽内。
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真空泵泵箱及辅助设施

根据真空泵实例设计真空泵水、电、气泵箱; 1代泵箱适用于Edwards IXM1200系列真空泵; 2代泵箱适用于Edwards IXM1200和IXM600系列; 三层叠泵适用于Edwards IXM6045和PHX600叠加使用; 多样的设计形式及设计风格,欢迎客户定制。
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